湘潭大学

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化学气相沉积系统

文章来源:发布时间:2017-08-25浏览次数:

  自主搭建的化学气相沉积系统,具有拓展性好,半自动控制的特点。放置于恒温恒湿环境无尘间,有利于提高实验重复性和环境条件可控性。材料及其器件制备、基本表征可在无尘间完成,避免转移过程中的污染。能用于石墨烯、类石墨烯、金刚石镀层等微纳材料的制备。

化学气相沉积系统.jpg

  ◆ 可控制流量的三气路供气系统

  ◆ 单独冲扫及降温气路

  ◆ 传感器及蝶阀控制的动态稳定真空系统

  ◆ PLC程序控制气体流量、真空度及温度

  ◆ 精确控温的三温区管式炉

  ◆ 稳定进气及降低热交换的双套管设计

  ◆ 四探头高精度气体传感报警器

  ◆ 防泄漏自动截断供气及超线排放装置

  ◆ 防空气倒灌处理装置

  ◆ 尾气冷凝、过滤及水洗处理装置

  代表性成果

ZnO纳米阵列.png 

ZnO纳米阵列

GaN纳米线.png

GaN纳米线

  代表性论文

  Wang D., Zheng X. J., Cao X. C., et al. The large response current of a vacuum pressure sensor based on a vertically-aligned ZnO nanowires array. RSC Advances, 2016, 6. . (SCI源刊, 影响因子3.289, 2区)

  Wu D. X., Chen H. B., Zheng X. J., et al.. Fabrication and Piezoelectric Characterization of Single Crystalline GaN Nanobelts,Chinese Physics Letters, 2015, 32(10):150-153. (SCI源刊, 影响因子0.875, 4区)

  吴东旭,郑学军*, 程宏斌,et al.不同生长方向的GaN纳米线的可控制备与性能表征, 人工晶体学报 44 (2015),389-393。(EI, 影响因子0.553)

 

  项目支持

  1、薄膜材料及其器件力学 教育部“长江学者计划”奖励计划 教育部创新团队滚动资助项目(IRT_14R48)。

  2、中央支持地方财政“一般力学与力学基础”国家重点学科建设经费。

  3、郑学军,GaN半导体纳米材料的多场耦合失效机理(编号:51272158), 2013-2016年。

  4、郑学军. 薄膜材料及器件力学,教育部“长江学者计划”特聘教授项目([2009]17)。

 

  获得奖励

  1、薄膜材料及其器件力学 教育部“长江学者计划”奖励计划 教育部创新团队滚动资助项目2014 (排名第一)

  2、微纳材料及器件的力学理论设计与性能表征方法,湖南省自然科学二等奖2013 (排名第二)

  仪器放置地点:机械楼113  管理人:彭金峰  电话:18673210002  责任教授:郑学军教授